Aufgrund seiner außergewöhnlichen mechanischen und thermischen Eigenschaften ist Diamant ein äußerst attraktives Material für mikromechanische Anwendungen. Schnelle bimetallische Aktoren, verschleißfeste Ventile, AFM-Spitzen, Röntgenlinsen, MEMS-Schalter sowie Skalpelle für die Mikrochirurgie - dies sind nur einige Beispiele der vielfältigen Anwendungsmöglichkeiten. Diamond Materials verfügt über ein umfangreiches Prozessierungs-Know-How, welches unter anderem Präzisions-Laserablation, anisotropes Plasmaätzen, photolithographische Strukturierung, Waferbonden, Sensorintegration sowie Deposition funktionaler Schichten umfasst - gute Voraussetzung für die Realisierung neuer innovativer Mikrosysteme.

Gerne beraten wir Sie über die Möglichkeiten, die dieses außergewöhnliche Material bietet.

Ihre Ideen und unser Know-How .... let's put things together !

• Spezifikationen und Optionen:

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  Größe	0.1 - 180 mm
  Wafer	Freistehende Wafer/Membranen oder Diamond-on-silicon mit phasenreinem Diamant und perfekt glatter Oberfläche
  Plasmaätzen	Tiefätzen mit hohem Aspektverhältnis. Plasmaglätten
  Material	Die Eigenschaften von Diamant lassen sich für unterschiedliche Anwendungen maßschneidern. Neben sehr phasenreinen Schichten und Scheiben kann Diamant ultra-nanokristallin bzw. elektrisch leitend synthetisiert werden.